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氣體質(zhì)量流量控制器可應(yīng)用在擴(kuò)散爐、氧化退火爐、PECVD等多種設(shè)備中，對(duì)氮?dú)?、氧氣等多種氣體的流量進(jìn)行精確測(cè)量和控制，以降低損耗，提高產(chǎn)能。